如果想獲得高真空的話必須選用氣冷羅茨液環(huán)泵真空機(jī)組，而真空機(jī)組需要的羅茨真空泵不能直排大氣，如直排大氣會形成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機(jī)功率又會形成羅茨真空泵過熱致使羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的微小間隙很快因熱收縮而卡死。為保證羅茨真空泵能到達(dá)較高真空必需保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。所以羅茨真空泵運用時必需設(shè)有前級泵，用前級泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍內(nèi)時再啟動羅茨真空泵，如此能夠防止羅茨真空泵過載。前級泵能夠選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復(fù)式真空泵等可直排大氣的真空泵。
氣冷羅茨液環(huán)泵真空機(jī)組在普通狀況下，選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它可以抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵掃除可凝性蒸汽才能不夠，或運用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時分更為明顯。
充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設(shè)備(或鋼瓶)和連接管路進(jìn)行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機(jī)的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內(nèi)的SF6充入SF6電器設(shè)備，直至達(dá)到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。
系統(tǒng)中設(shè)置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮機(jī)的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。
系統(tǒng)回路中設(shè)置了干燥過濾器，以保證進(jìn)入貯存容器的SF6的純度并有效去除水份。過濾器帶有加熱再生裝置，可在抽真空下加熱再生，分子篩從而能反復(fù)使用。
系統(tǒng)中設(shè)有可靠的安全保護(hù)裝置，高壓壓力控制器安裝在SF6壓縮機(jī)排氣口，一旦排氣壓力超過限定值它會自動停止壓縮機(jī)的工作，待壓力下降后再重新啟動壓縮機(jī)；安全閥安裝在貯存容器上一旦超壓安全閥自動打開排放氣體，壓力下降后自動關(guān)閉。
另外，系統(tǒng)中還設(shè)置了監(jiān)視儀表和控制儀表共七只，其中真空計一只，安裝在裝置回收進(jìn)氣口，并在真空計前裝置了DN8閥門，需要觀察時打開即可；壓力表五只，分別安裝在回收進(jìn)氣口、SF6壓縮機(jī)排氣口、冷凍壓縮機(jī)吸排氣口和貯存容器上；冷凍系統(tǒng)上設(shè)置了一只溫度計，利用溫包感應(yīng)SF6液體溫度。
